Aus der Forschung
Wafer für die Nanoelektronik. Foto: Forschungszentrum Jülich
Weitere Informationen:
www.helmholtz.de/juelich-nanoelektronik-labor
Neues Nanoelektronik-Labor am FZ Jülich
Rund 25 Mio. Euro werden in den Aufbau eines Nanoelektroniklabors am Forschungszenturm Jülich investiert. In der Helmholtz Nanoelectronic Facility (HNF) sollen Materialien, Prozesse und Strukturen im Nanometerbereich für die nächste Generation von Halbleitern und Chips entwickelt werden.
Für 9,8 Mio. Euro aus Mitteln der Helmholtz-Gemeinschaft soll ein hochmodernes Reinraumzentrum entstehen, weitere 15,5 Mio. Euro werden in Geräte und Betriebstechnik investiert. Der industriekompatible Gerätepark wird Anlagen zu Belichtung, Reinigung und Kontrolle von Wafern, zur Bearbeitung mit Ionenstrahlen und weitere nanoelektronische Prozesstechnik enthalten. Eine Forschungslinie am HNF wird die CMOS-Technik bis an die Grenze des physikalisch Machbaren treiben. Aber auch Schaltungen, die auf neuartigen Oxiden, Spins, Molekülen und sogar auf lebenden Zellen beruhen, können in der HNF bereits erprobt werden. Zu den Forschungszielen zählt auch, die Energieeffizienz von Computerchips zu steigern.
„Als Technologieplattform der Helmholtz-Gemeinschaft wird die HNF aber auch Industrie und Universitäten offenstehen“, sagt Prof. Dr. Sebastian M. Schmidt, Mitglied des Vorstands des Forschungszentrums Jülich.
